Thuật ngữ "firmware" đã được Ascher Opler đặt ra năm 1967 trong một bài báo ở tờ Datamation.[2] Ban đầu nó có nghĩa là nội dung vi mã của một phân khu điều khiển khả dĩ ghi liệu (một bộ phận nhỏ chuyên môn hóa của bộ nhớ truy xuất ngẫu nhiên), định nghĩa và thi hành tập lệnh của bộ vi xử lý trung tâm. Firmware có thể được tái tải nếu cần để đặc trưng hóa hoặc chỉnh sửa tập lệnh của máy tính. Như được sử dụng ban đầu, từ firmware đối lập với từ hardware (bản thân CPU) và software (những chương trình chạy trên CPU). Nó không được hợp thành bởi những lệnh CPU, mà bởi những vi mã thấp cấp hơn tham gia vào sự thi hành những lệnh máy. Nó tồn tại ở biên giới của hardware và software, đó là thuật ngữ firmware.

Sau này thuật ngữ được mở rộng ra để bao gồm bất kỳ vi mã nào, cho dù trong RAM hay ROM.

Lại sau này, thuật ngữ lại một lần nữa mở rộng ra để chỉ bất kỳ thứ gì thường trú ở ROM, kể cả những lệnh của bộ xử lý cho BIOS, bộ tải khởi động, hoặc những ứng dụng chuyên hóa.